I tamponi per lucidatura sono gli accessori chiave che determinano la qualità della superficie dei wafer nel processo di lucidatura chimico-meccanica (CMP). Sono composti principalmente da materiali come la schiuma poliuretanica, che hanno una microstruttura porosa e un'elevata resistenza all'usura. Le sue funzioni principali includono il trasferimento uniforme della pressione, lo stoccaggio del fluido lucidante e la rimozione dei residui di reazione. Regolando la durezza, è possibile ottimizzare rispettivamente l'uniformità nell'-mold (WID) e l'uniformità nell'-chip del wafer. Il design del disegno della scanalatura influisce direttamente sull'efficienza di distribuzione del liquido lucidante. La scanalatura radiale migliora la velocità di asportazione del materiale, mentre la scanalatura anulare ottimizza la finitura superficiale.
Le prestazioni del tampone di lucidatura sono determinate da 7 indicatori fondamentali:
1.Densità: influenza il grado di deformazione
2. Durezza: regolare l'efficienza della macinazione
3.Spessore: determina l'uniformità della pressione
4. Modello scanalato: ottimizza la distribuzione del liquido
5.Parametri della scanalatura: larghezza/profondità influiscono sulla capacità di archiviazione
6.Specifiche del diametro esterno: devono essere adattate alle dimensioni dell'apparecchiatura
Composizione e struttura del tampone lucidante in poliuretano
I tamponi per lucidatura in poliuretano utilizzano solitamente poliuretano ad alte- prestazioni come materiale principale. Il poliuretano è un tipo di polimero ad alto peso molecolare con buona elasticità, resistenza all'usura e stabilità chimica.
La sua struttura comprende generalmente uno strato lucidante e uno strato di supporto. Lo strato lucidante è a diretto contatto con il materiale lucidato e deve avere caratteristiche adeguate di durezza, rugosità e porosità per ottenere un efficace effetto lucidante; lo strato di supporto svolge principalmente il ruolo di supporto e fissaggio dello strato lucidante, contribuendo nel contempo a trasmettere la pressione di lucidatura e a mantenere la stabilità complessiva del tampone di lucidatura.
Caratteristiche prestazionali dei tamponi per lucidatura in poliuretano
Elevata elasticità: può adattarsi meglio alla superficie dell'oggetto lucidato e anche le superfici curve complesse possono essere lucidate in modo uniforme, riducendo la pressione locale troppo grande o troppo piccola durante il processo di lucidatura CMP, migliorando così la qualità della lucidatura.
Elevata resistenza all'usura: durante il processo di lucidatura a lungo- termine, può mantenere la propria forma e prestazioni e non è facile da indossare, il che prolunga la durata del tampone di lucidatura e riduce i costi di utilizzo.
Elevata planarità: può garantire la planarità della superficie lucida, essenziale per la lavorazione di componenti ottici di alta-precisione, chip semiconduttori, ecc. e può soddisfare i severi requisiti di precisione della superficie in questi campi.
Elevata stabilità: in diverse condizioni ambientali (come cambiamenti di temperatura e umidità, ecc.), il tampone di lucidatura in poliuretano può comunque mantenere la stabilità delle sue prestazioni e garantire la consistenza dell'effetto lucidante.