La produzione di chip è conosciuta come il fiore all’occhiello dell’industria moderna ed è anche un settore di fascia alta su cui la Cina si sta concentrando.
Sebbene i campi di applicazione dei materiali poliuretanici siano concentrati principalmente in settori come l'isolamento degli edifici, mobili ed elettrodomestici, automobili, scarpe e abbigliamento, c'è un'ombra di materiali poliuretanici anche nella produzione di trucioli, come ad esempio i tamponi per lucidatura CMP.
CMP è sviluppato sulla base della lucidatura chimica e della lucidatura meccanica, ma allo stesso tempo supera le carenze della tradizionale lucidatura meccanica e della lucidatura chimica.
Le apparecchiature CMP comprendono tre moduli principali: lucidatura, pulizia e trasmissione. Durante l'operazione, la testa di lucidatura preme la superficie del wafer da lucidare contro il tampone di lucidatura ruvido e raggiunge la planarizzazione globale con l'aiuto della lucidatura della corrosione liquida, dell'attrito delle particelle, dell'attrito del tampone di lucidatura, ecc.
Le attrezzature e i materiali di consumo utilizzati nella tecnologia CMP includono: lucidatrice, impasto liquido per lucidatura, tampone per lucidatura, apparecchiature per la pulizia post-CMP, apparecchiature per il rilevamento dei punti finali e il controllo del processo di lucidatura, apparecchiature per il trattamento e il collaudo dei rifiuti, ecc.
La lucidatrice, l'impasto liquido e il tampone di lucidatura sono i tre elementi chiave del processo CMP. Le loro prestazioni e la reciproca corrispondenza determinano il livello di levigatezza della superficie che CMP può raggiungere. Nel processo di lucidatura, i due materiali più importanti sono il liquido lucidante e il tampone lucidante.
I tamponi per lucidatura CMP devono avere una buona resistenza alla corrosione, idrofilicità e proprietà meccaniche. I più comuni sono realizzati in schiuma di poliuretano cellulare rigido con un motivo di scanalature strette e ad alto rapporto d'aspetto. Il poliuretano ha una buona elasticità e resistenza all'usura e può mantenere prestazioni relativamente stabili sotto l'azione di abrasivi costanti. Allo stesso tempo, durante il processo di lucidatura, i micropori (proprietà meccaniche e proprietà porose di assorbimento dell'acqua) sulla superficie del tampone di lucidatura in poliuretano espanso rigido possono ammorbidire e irruvidire la superficie del tampone di lucidatura e possono trattenere le particelle abrasive all'interno liquido lucidante.
Questi micropori possono anche raccogliere i materiali di rimozione della lavorazione, trasportare il fluido lucidante e garantire la corrosione chimica, il che è vantaggioso per migliorare l'uniformità e l'efficienza della lucidatura.
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